CN119698575A 用于光致抗蚀剂的反应性显影的循环式方法 （东京毅力科创株式会社）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119698575A

(43)申请公布日2025.03.25

(21)申请号202380059529.8

(22)申请日2023.07.26

(30)优先权数据

17/888,1352022.08.15US

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2025.02.13

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/US2023/0286612023.07.26

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2024/039498EN2024.02.22

(71)申请人东京毅力科创株式会社地址日本

(72)发明人哈马