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- 2026-06-12 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN119392226A
(43)申请公布日2025.02.07
(21)申请号202411936138.2
(22)申请日2024.12.25
(71)申请人北京北方华创微电子装备有限公司
地址100176北京市大兴区经济技术开发
区文昌大道8号
(72)发明人刘曦
(74)专利代理机构北京国昊天诚知识产权代理
有限公司11315
专利代理师张芳
(51)Int.Cl.
C23C16/52(2006.01)
C23C16/54(2006.01)
权利要求书2页说明书11页附图3页
(54)发明名称
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