CN119694430A 抛光液监测方法和监测系统 （深圳市睿格晟设备有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119694430A

(43)申请公布日2025.03.25

(21)申请号202411964825.5

(22)申请日2024.12.30

(71)申请人深圳市睿格晟设备有限公司

地址518100广东省深圳市龙岗区平湖街

道山厦社区中环大道中科谷产业园6栋1201-1208室

(72)发明人黄绍东叶玉泉伍繁榜

(74)专利代理机构北京崇智知识产权代理有限

公司11605

专利代理师黄伟锐

(51)Int.Cl.

G16C20/20(2019.01)

G16C20/70(2019.01)

G16C60/00(2019.01)

G06N3/0464(2023.01)

G06N3/0442(2023.01)

G06N3/045(2023.01)

G06N3/08(2023.01)

G06N3/049(2023.01)

G06F18/25(2023.01)

权利要求书2页说明书10页附图1页

(54)发明名称

抛光液监测方法和监测系统

(57)摘要

CN119694430A本申请公开了一种抛光液监测方法和监测系统，属于抛光液技术领域。其中，抛光液监测方法包括如下步骤：步骤1：获取抛光液随使用进程的成分数据以及与成分数据对应的标记数据