CN119694954A 一种基于兆声波的晶圆清洁装置及清洁方法 （思恩半导体科技(苏州)有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119694954A

(43)申请公布日2025.03.25

(21)申请号202510203930.5

(22)申请日2025.02.24

(71)申请人思恩半导体科技（苏州）有限公司

地址215512江苏省苏州市常熟市碧溪街

道通江路305号4号（6#车间）1-2层

(72)发明人王文和蔡永礼叶曲波

(74)专利代理机构苏州科权知识产权代理事务所(普通合伙)32561

专利代理师张倩

(51)Int.Cl.

H01L21/67(2006.01)

H01L21/687(2006.01)

H01L21/02(2006.01)

权利要求书2页说明书9页附图6页

(54)发明名称

一种基于兆声波的晶圆清洁装置及清洁方

法

(57)摘要

CN119694954A本发明公开了一种基于兆声波的晶圆清洁装置及清洁方法，涉及晶圆预加工技术领域，包括清洗箱，其顶部设置有运输轨道，清洗箱的内部安装有兆声波发生器，在运输轨道的内侧滑动设置有晶圆运输架，晶圆运输架的底部同时夹持若干可活动的晶圆本体，运输轨道上有安装有检测摄像头，检测摄像头用于采集晶圆本体的光刻面斜角照片，基于光刻面斜角照片识别出晶圆本体的潮湿数据；由于对称风干机构会对晶圆本体的表面施加对称的风力，所以晶圆