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反应离子镀制备TiO2薄膜及其性能的多维度探究

一、引言

1.1研究背景与意义

二氧化钛（TiO?）薄膜作为一种重要的功能材料，凭借其独特的物理化学性质，在众多领域展现出了极为广阔的应用前景，吸引了科研人员的广泛关注。

在光催化领域，TiO?薄膜是一种极具潜力的光催化材料。自1972年Fujishima和Honda发现TiO?电极在紫外光照下能分解水产生氢气以来，TiO?的光催化性能研究便成为了热门领域。TiO?具有高光催化活性、化学稳定性好、无毒等显著优点，在光降解水和光催化降解有机污染物等方面表现出色。当TiO?薄膜受到能量大于其禁带宽度（锐钛矿相TiO?约为3.2e