CN119714070A 一种非接触式光栅定位测量平台及方法 （长春长光启衡传感技术有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119714070A

(43)申请公布日2025.03.28

(21)申请号202411954864.7

(22)申请日2024.12.27

(71)申请人长春长光启衡传感技术有限公司

地址130000吉林省长春市高新技术产业

开发区飞跃东路333号办公楼第三层B区

(72)发明人张宏学吕旸吴宏圣付景建王璐

(74)专利代理机构长春中科长光知识产权代理事务所(普通合伙)22218

专利代理师孙艳辉

(51)Int.Cl.

G01B11/00(2006.01)

G01B11/24(2006.01)

G01B11/26(2006.01)

G01B11/14(2006.01)

权利要求书2页说明书7页附图2页

(54)发明名称

一种非接触式光栅定位测量平台及方法

(57)摘要

CN119714070A本发明涉及光栅检测技术领域，具体提供一种非接触式光栅定位测量平台及方法，主要由轴向测距探头、径向测距探头、多维位移调整台、气浮转台和控制系统组成，通过多维位移调整台支撑和调整待加工光栅，在气浮转台带动光栅转动过程中，轴向测距探头和径向测距探头周期性测量与光栅的间距，控制系统依据测量数据生成端跳误差曲线和偏心误差曲线，并据此闭环控制多维位移调整台，调