集成电路制造工艺设计及原理期末考试答案.pdf

集成电路制造工艺设计及原理期末考试答案.pdf

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1)举例答复集成电路主要集成了哪些器件【5分】

•2)最少给出两个集成电路选用硅半导体的理由。【5分】

•3)在清洗过程中用到的进入冲洗池的纯洁水的电阻(率)在出水口处为多大时说明硅片已经

被洗净【5分】

•4)常见的半导体的沾污有哪些种类【5分】

•5)说明正光刻胶和负光刻胶在曝光过程中的变化和区别。【5分】

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