原创力文档芯片制造用超高纯金属项目洁净建设方案
目录TOC\o1-4\z\u
一、项目概述 3
二、建设目标 5
三、产品特性分析 7
四、厂区选址要求 10
五、总体布局原则 12
六、洁净分区规划 14
七、工艺流程设计 17
八、建筑结构要求 20
九、围护系统设计 23
十、空气净化系统 29
十一、温湿度控制 32
十二、压差控制系统 35
十三、气体供给系统 36
十四、金属污染控制 38
十五、设备选型原则 42
十六、材料选用要求 44
十七、人员与物流管理 46
十八、施工组织安排 47
十九、
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