CN119717927A 温度控制系统、方法及半导体清洗设备 （北京北方华创微电子装备有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119717927A

(43)申请公布日2025.03.28

(21)申请号202311253141.X

(22)申请日2023.09.26

(71)申请人北京北方华创微电子装备有限公司

地址100176北京市大兴区北京经济技术

开发区文昌大道8号

(72)发明人孙梦菲李圆晨张明徐瑶

(74)专利代理机构北京荟英捷创知识产权代理事务所(普通合伙)11726

专利代理师李也庚

(51)Int.Cl.

G05D23/20(2006.01)

H01L21/67(2006.01)

权利要求书2页说明书10页附图3页

(54)发明名称

温度控制系统、方法及半导体清洗设备

(57)摘要

CN119717927A本发明提供了温度控制系统、方法及半导体清洗设备；其中，该系统包括：第一温度传感器检测工艺槽体内药液的第一温度，第二温度传感器检测加热完成的药液的第二温度；控制模块用于当第二温度小于第二目标温度时，生成第二控制信号，此时控制回路根据第二控制信号控制加热模块按照全功率对药液进行加热，直至第二温度达到第二目标温度；当第二温度不小于第二目标温度时，生成第一控制信号，此时控制回路根据第一控制信号控制加热模块的加热功率，直至第一温度达到第一目标温度，从而通过分段加热