原创力文档APC自动压力调节蝶阀
操作指南
一、产品概述
APCAutomaticPressureControl
（）自动压力调节蝶阀（简称：蝶阀）主要用于对真空腔
室的压力进行调控或隔断密封，特别适用于对控压精度和响应速度有高要求的半导体工艺领
域。蝶阀作为调控元件，通过阀板运动到不同位置而改变蝶阀通径的流导大小，从而控制泵
对腔室的有效抽速。该蝶阀可根据腔体体积、流量等条件自学习，自动建立压力控制参数。
用户在主机输入设定的工艺压力值，通过与压力传感器实时反馈
您可能关注的文档
- LiankeBio 试剂盒 AP107 用户手册.pdf
- LiKangBio 检测试剂 F11279A03 用户手册.pdf
- Beckman Coulter CD69-APC 用户手册 A80711说明书.pdf
- 贝克曼库尔特（美国）股份有限公司说明书B30642说明书.pdf
- Lianke Bio 检测试剂 Anti-MouseCD19,APC(Clone 1D3) 说明书.pdf
- Beckman Coulter 说明书 B30651 说明书.pdf
- LIANKE BIO 试剂 Anti-HumanCD19,APC(Clone SJ25C1 说明书用户手册.pdf
- LiAnkeBio Apoptosis Kit Annexin V-APC 7-AAD User Manual说明书用户手册.pdf
- Lianke Bio 试剂盒 AP105-30 用户手册.pdf
- LiAnKeBio联科生物流式染色试剂F1101906用户手册.pdf
最近下载
- 初中数学公式大全（可打印）.docx
- （高清版）DB43∕T 2449-2022 公路隧道监控量测技术规程.pdf VIP
- 广发证券-文巧钧-专题-高频价量数据的因子化方法-多因子Alpha系列报告之（四十一）-2021-07-12.pdf VIP
- 外研版（2019）高中英语选择性必修第四册 Unit5_主题写作练.doc VIP
- 高级英语（第四版）1_教学课件Lesson 1 Face to Face with Hurricane Camille.ppt VIP
- 劳务分包工程施工组织设计.doc
- （正式版）DB35∕T 1866-2019 《公路隧道超前地质预报技术规程 》.pdf VIP
- 物理因素所致职业病题库3-0-8.pdf VIP
- 支导线坐标自动计算表().xls VIP
- 河南省工勤人员技能等级考试(城管监察员)题库附答案.docx VIP
文档评论（0）