原创力文档流量传感器
微小工件的吸附确认
相比压力传感器，流量传感器可进行更准确的吸附确认。
测定流量范围：
追加（）
0.0~0.1L/min-X502
流量传感器3画面数字式流量显示器
PFMV5系列P.6PFGV301系列P.13
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