CN119309753A 一种mpcvd设备的气密性测试方法、系统、mpcvd设备及介质 （深圳优普莱等离子体技术有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119309753A

(43)申请公布日2025.01.14

(21)申请号202411880718.4

(22)申请日2024.12.19

(71)申请人深圳优普莱等离子体技术有限公司

地址518000广东省深圳市光明区光明街

道东周社区双明大道315号易方大厦

1308

申请人广东优普莱金刚石技术有限公司

(72)发明人全峰

(74)专利代理机构深圳市君胜知识产权代理事

务所(普通合伙)44268

专利代理师陈专

(51)Int.Cl.

G01M3/26(2006.01)

C23C16/511(2006.01)