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半导体材料生产项目质量控制方案.docx

半导体材料生产项目质量控制方案.docx

    半导体材料生产项目质量控制方案

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、项目质量目标 3

    二、质量管理组织 7

    三、职责分工 9

    四、质量管理原则 12

    五、质量策划要求 14

    六、原料控制要求 17

    七、辅料控制要求 21

    八、设备控制要求 25

    九、环境控制要求 28

    十、工艺控制要求 32

    十一、过程检验要求 36

    十二、成品检验要求 38

    十三、质量记录管理 42

    十四、计量器具管理 44

    十五、人员技能管理 46

    十六、洁净生产控制 48

    十七、关键参数监控 51

    十八、异常处理机制 54

    十九、纠

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