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多晶硅液晶面板生产项目废气处理工程方案.docx

多晶硅液晶面板生产项目废气处理工程方案.docx

    多晶硅液晶面板生产项目废气处理工程方案

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、项目生产与废气排放概况 3

    二、废气处理工程设计总则 5

    三、废气特征参数与处理基准确定 7

    四、废气处理达标排放目标要求 9

    五、全工序废气收集系统设计方案 11

    六、多晶硅工序废气预处理工艺 14

    七、多晶硅工序废气深度处理工艺 17

    八、液晶面板前段工序废气处理工艺 22

    九、液晶面板后段工序废气处理工艺 24

    十、高浓度有毒废气应急处理工艺 26

    十一、废气处理核心设备选型方案 29

    十二、废气输送管网与保温防腐设计 32

    十三、电气自动化控制系

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