原创力文档多晶硅液晶面板生产项目洁净厂房建设方案
目录TOC\o1-4\z\u
一、项目概述 3
二、建设目标 5
三、产品与工艺特点 8
四、洁净厂房定位 10
五、厂区总平面布置 13
六、功能分区规划 17
七、生产流程衔接 20
八、洁净等级划分 23
九、空气净化系统 24
十、温湿度控制方案 26
十一、压差与气流组织 30
十二、给排水系统 33
十三、供配电系统 37
十四、照明与节能设计 40
十五、消防安全设计 42
十六、结构与围护设计 46
十七、防微振设计 53
十八、静电防护设计 55
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