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半导体厂工艺气体管路的拆除程序.pptx

半导体厂工艺气体管路的拆除程序.pptx

    机台moveoutGas管路拆除程序

    一.拆管程序:

    1.针对欲拆除机台之管路与业主进行会勘。

    1.1决定管路拆到那里?(盘前或Takeoff点)

    1.2决定拆下来的管路由谁处理?(施工单位/业主/设备厂商)

    1.3决定拆下来的fittings由谁处理?(施工单位/业主/设备厂商)

    2.确认欲拆管路气体名称，路径及所有分支点位置数量并予以记录。

    3.在欲拆除的管路上以胶带作标示1.5M~2M，转弯、爬升及视觉障碍部份要密集标示。

    4.

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