CN119731770A 等离子体处理方法和等离子体处理系统 （东京毅力科创株式会社）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119731770A

(43)申请公布日2025.03.28

(21)申请号202380059747.1

(22)申请日2023.08.16

(30)优先权数据

2022-1343102022.08.25JP

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2025.02.14

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/JP2023/0295962023.08.16

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2024/043151JA2024.02.29

(71)申请人东京毅力科创株式会社地址日本

(72)发明人田