CN119619177A 基于光谱的芯片缺陷检测方法及相关设备 （深圳芯闻智慧科技有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119619177A

(43)申请公布日2025.03.14

(21)申请号202411894265.0

(22)申请日2024.12.20

(71)申请人深圳芯闻智慧科技有限公司

地址518000广东省深圳市宝安区新安街

道兴东社区69区中粮创芯研发中心4

栋1607

(72)发明人彭文强何浩生吴楷鸿

(74)专利代理机构北京华艺德嘉知识产权代理

有限公司16326

专利代理师吉兴祥

(51)Int.Cl.

G01N21/956(2006.01)

G01N21/88(2006.01)

G01N21/31(2006.01)

G01