全球半导体用激光器迈向60亿美元以上市场，光刻、量检测与先进封装驱动高端光源升级.pdfVIP

全球市场研究报告

半导体领域用激光器是指嵌入半导体制造、检测量测、先进封装及相关精密加工设备中的关键光源、激

光模块和激光工艺子系统，核心功能是通过特定波长、功率、脉宽、重复频率、光束质量、线宽、能量稳定

性和空间定位精度，实现曝光、检测、量测、退火、切割、开槽、打标、解键合、清洗、钻孔及微结构加工

等工艺目标。其技术基础包括泵浦源、激光增益介质、光学谐振腔、光束整形、能量控制、热管理和运动控

制等环节；按增益介质可分为固体激光器、光纤激光器、气体激光器、半导体激光器等，按波长可分为红外、

可见光、紫外、深紫外及极紫外相关光源，按脉冲形式可分为连续、纳秒、皮秒和飞秒激光器。与通用工业

激光器相比，半导体设备用激光器更强调高洁净度、低颗粒、低热影响、低漂移、长周期稳定性、工艺窗口

一致性和客户认证可靠性，是光刻、检测量测、先进封装、功率器件制造和晶圆级精密加工中的核心功能部

件。

根据QYResearch半导体研究中心最新报告《全球及中国半导体领域用激光器市场现状及发展研究

2026-2032》统计，2025年全球半导体领域用激光器市场规模约33.7亿美元，预计2031年增至约59.1亿

美元，2026-2031年复合增速约8.7%；为匹配2026-2032研究窗口，按同一增长曲线