全球离子束加工机市场结构，技术路线及产业链（by QYResearch）.pdfVIP

全球市场研究报告

IonBeamFiguringMachine（离子束加工机），也可称为IonBeamFiguringEquipment、IBFMachine、

IonBeamPolishingMachine或离子束修形/离子束抛光设备，是指在真空环境下利用高能惰性气体离子束

对光学元件表面进行纳米级、亚纳米级材料去除和面形误差修正的超精密加工装备。其核心原理是通过离

子源产生并加速氩离子等离子束，按照面形检测数据和去除函数计算出的驻留时间轨迹，对光学表面进行

非接触、确定性、局部微量溅射去除，从而修正传统抛光后残余的低频和中频面形误差。该设备通常由真空

腔体、离子源、束流控制系统、多轴运动平台、工件夹持、在线/离线干涉测量、驻留时间算法、控制软件

和洁净辅助系统组成。

从产品细分看，离子束加工机可按加工口径、运动轴系、离子源形式、束斑尺寸、自动化程度、应用材

料和客户场景划分。按加工口径，可分为小口径实验室型、中口径量产型、大口径天文/航天光学型和超大

口径分段镜型；按运动轴系，可分为三轴、五轴、六轴和多轴联动型，其中多轴系统更适合非球面、离轴面

和自由曲面；按离子源形式，可分为射频离子源、考夫曼离子源、宽束离子源、可变束斑离子源和线性离子

源。按应用材料，可覆盖熔融石英、