CN119736609A 附着物除去方法和成膜方法 （株式会社力森诺科）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119736609A

(43)申请公布日2025.04.01

(21)申请号202411984911.2

(22)申请日2020.11.04

(30)优先权数据

2019-2091662019.11.19JP

(62)分案原申请数据

202080039352.12020.11.04

(71)申请人株式会社力森诺科地址日本

(72)发明人谷本阳祐

(74)专利代理机构北京市中咨律师事务所11247

专利代理师张志明段承恩

(51)Int.Cl.

C23C16/44(2006.01)

C23C16/30(2006.01)

权利要求书1页说明书9页附图1页

(54)发明名称

附着物除去方法和成膜方法

(57)摘要

CN119736609A提供能够不用将腔室拆卸就除去在腔室的内表面或与腔室连接的配管的内表面上附着的含硒附着物的附着物除去方法和成膜方法。通过使在腔室(10)的内表面和与腔室(10)连接的排气用配管(15)的内表面中的至少一者上附着的含硒附着物，与含有含氟化合物气体的清洁气体

CN119736609A

CN119736609A权利要求书1/1页

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