INOVANCE汇川IPU300系列真空发生器组件用户手册.pdf

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法律及声明1

前言2

1使用注意事项5

1.1关于供给阀、破坏阀5

1.2配线方法6

1.3更换要点6

1.4关于真空发生器的排气、排气噪音9

1.5关于供给压力10

1.6关于破坏流量调节针阀10

1.7关于带调压阀型压力调节10

2安装12

2.1安装方式说明12

2.2配管说明14

2.3接线说明16

3调试与运行19

4压力开关功能说明20

5故障与对策28

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