电子级金属粉体生产项目洁净车间设计方案.docx

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电子级金属粉体生产项目洁净车间设计方案

目录TOC\o1-4\z\u

一、项目概述 3

二、设计目标 6

三、设计原则 10

四、产品特性分析 12

五、洁净等级要求 13

六、车间功能分区 17

七、工艺流程布局 21

八、人流物流组织 25

九、建筑平面设计 27

十、结构与荷载设计 31

十一、围护系统设计 35

十二、空气净化系统 39

十三、温湿度控制系统 43

十四、压差控制系统 47

十五、气体供应系统 50

十六、给排水系统 53

十七、电气与照明系统 56

十八、自动控制系统 58

十九

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