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- 2026-06-18 发布于山西
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN119740058A
(43)申请公布日2025.04.01
(21)申请号202510248007.3
(22)申请日2025.03.04
(71)申请人北京特思迪半导体设备有限公司
地址101300北京市顺义区杜杨北街3号院
6号楼（顺创）
(72)发明人汪岳鹏蒋继乐
(51)Int.Cl.
G06F18/2321(2023.01)
G06F18/213(2023.01)
G01B11/06(2006.01)
G01N21/25(2006.01)
权利要求书3页说明书12页
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