原创力文档半导体器件生产与检测手册（执行版）
第1章生产环境安全与质量管理体系
1.1洁净室物理环境控制标准
洁净室温度需维持在20±2℃，相对湿度控制在45%-55%之间，
以防止静电积聚和材料吸湿变形。洁净室风速应均匀分布，水平风速
不低于0.3m/s，垂直风速不低于0.5m/s，以确保微粒悬浮与沉降平
衡。
洁净室压差需保持正压，相邻区域压差应不小于10Pa，防止外部
污染物逆流进入生产区。洁净室照明需采用低照度LED光源，照度值
在关键区域不低于300Lux，避免眩光影响操作人员视觉判断。洁净
室
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