2025年真空技术与设备应用手册_1.docxVIP

2025年真空技术与设备应用手册

第1章真空技术基础原理与前沿发展

1.1真空状态的定义与分类标准

在物理学与工程学中，真空并非绝对意义上的“完全没有气体”，而是指气体分子密度极低的状态。通常定义为：在标准大气压（101.325kPa）下，分子数密度小于$10^5$个/cm3的区域，此时压强小于$10^{-3}$Pa（即1mbar以下），即可视为高真空或超高真空环境。②根据压强大小，真空状态可细分为六个等级：低压真空（10?1~10?3Pa）、中真空（10?3~10??Pa）、高真空（10??~10?11Pa）、超高真空（10?11~10?1?Pa）、超超高真空（10?1?~10?1?Pa）以及超高超高真空（10?1?Pa以下）。定义真空度的方法主要有两种：一是基于绝对压强（如帕斯卡Pa或托T），二是基于相对压强（如毫巴mbar或Torr），其中工业设备常用mbar作为单位，因为1mbar约等于760Torr，便于与气体常压进行直观对比。④在真空技术测量中，必须区分“漏率”与“透过率”。漏率是指气体分子穿过真空腔体的速率，受腔体材质、孔径和压力差共同影响；而透过率是气体分子穿过腔体后保留下来的比例，主要取决于腔体壁的吸附能力和孔径大小。⑤为了量化真空状态，常使用“死体积”概念，即假设在特定压力下，气体分子充