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GB/T 47625-2026精细陶瓷　平行光束X射线衍射法测定单晶薄膜(晶圆)结晶质量.pdf

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  • 2026-06-17 发布于四川
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  •   |  2026-05-25 颁布
  •   |  2026-12-01 实施

GB/T 47625-2026精细陶瓷　平行光束X射线衍射法测定单晶薄膜(晶圆)结晶质量.pdf

    ICS81.060.30

    CCS30

    Q

    中华人民共和国国家标准

    /—/:

    GBT476252026ISO222782020

    精细陶瓷平行光束射线衍射法测定

    X

    ()

    单晶薄膜晶圆结晶质量

    —

    FineceramicsTestmethodforcrstallineualitofsinle-crstalthinfilm

    yqygy

    ()

    waferusinXRDmethodwitharallelX-rabeam

    gp

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