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电子真空镀膜工专项知识考试复习题库（附答案）.pdf

电子真空镀膜工专项知识考试复习题库（附答案）.pdf

    电子真空镀膜工专项知识考试复习题库（附答案）

    单选题

    1.关于溅射薄膜的应力，下列说法错误的是（）。

    A、压应力通常使薄膜变薄

    B、张应力通常使薄膜变厚

    C、膜厚越厚，内应力越容易释放

    参考答案：C

    2.电子真空镀膜过程中，溅射靶材与基片之间形成离子体的主要机理

    是？

    A、辉光放电

    B、热辐射

    C、导电加热

    D、电磁感应

    参考答案：A

    3.真空镀膜中，为了减少离子轰击对薄膜造成的损伤，有时会采用低偏

    压溅射或（）。

    A、高偏压溅射

    B、脉冲溅射

    C、直流溅射（低功率）

    参考答案：C

    4.在电阻蒸发

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