SEMI F75-0617 中文版 半导体制造用超纯水水质监测指南.docxVIP

SEMIF75-0617中文版半导体制造用超纯水水质监测指南

标准基础信息

标准编号：SEMIF75-0617

标准中文全称：半导体制造用超纯水水质监测指南

标准归口机构：SEMI国际半导体设备与材料协会、SEMIPWMC纯水监测委员会、晶圆厂湿法工艺水质管控专项工作组

发布日期：2017年06月01日

标准属性：行业指导性指南（非强制准入标准，为全球晶圆厂UPW监测体系搭建、仪表配置、采样检测、异常预警的统一基准规范）

替代关系：替代SEMIF75-0612，优化先进制程痕量指标监测方案，新增在线监测仪表漂移校准规范、停机静置水质监测要求、盲端死水专项监测模块，适配14nm及以下先进制程超纯水精细化管控需求

标准适用定位：覆盖半导体超纯水制备、储存、循环输送、末端POU用水全流程水质监测体系搭建，明确监测点位布局、必检参数、检测频率、采样方法、仪表精度要求、数据记录规范、水质异常分级处置流程；衔接SEMIF57材料析出管控、SEMIF102生物污染管控、SEMIF109痕量金属管控，补齐全链路动态水质监测核心环节，是晶圆厂纯水系统运维SOP制定、第三方审厂、客户稽核、水质故障溯源的核心指导文件

关联联动标准：材料析出监测联动SEMIF57-2023；微生物与生物膜监测联动SEMIF102-2022；痕量金属监测联动SEMIF109-2023；采样洁净规范