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碳化硅晶体生产项目设备选型配置方案.docx

碳化硅晶体生产项目设备选型配置方案.docx

    碳化硅晶体生产项目设备选型配置方案

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、项目概况 3

    二、建设目标与原则 6

    三、产品方案与产能规划 10

    四、工艺路线总体方案 12

    五、原料与辅料系统配置 17

    六、晶体生长设备选型 20

    七、热场与加热系统配置 24

    八、真空与气氛控制系统 25

    九、坩埚与保温材料配置 28

    十、切割设备选型 31

    十一、磨削与倒角设备选型 33

    十二、抛光与清洗设备选型 36

    十三、检测与测试设备配置 39

    十四、自动化控制系统选型 41

    十五、洁净环境与公用工程 45

    十六、动力与能源供应系

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