ASTM D5196-22 中文版 半导体级超纯水系统设计标准指南.docxVIP

ASTMD5196-22中文版半导体级超纯水系统设计标准指南

标准基础信息

标准编号：ASTMD5196-22

标准英文原名：StandardGuideforDesignofUltrapureWaterSystemsforSemiconductorApplications

发布机构：美国材料与试验协会（ASTMInternational）

发布日期：2022年05月

替代版本：ASTMD5196-19

标准核心定位：半导体超纯水工程**顶层设计纲领性指南**，为超纯水站整体工艺架构、设备选型、管路水力设计、材质管控、消毒运维、冗余备份、水质监控点位布局提供统一设计准则。本标准是前文ASTMD4453-22取样标准、ASTMD5464-22TOC检测、ASTMD7980-21颗粒检测、ASTMD6508-20阴离子检测四项检测类标准的上游设计依据，明确系统硬件设计必须匹配后端水质检测限值，从源头规避设计缺陷导致的持续性水质超标问题，是半导体新建纯水站、老旧系统改扩建、第三方工程审厂、FAT/SAT验收的强制合规依据。

联动配套标准：SEMIF63-24（超纯水水质指标）、ASTMD4453-22（超纯水取样保存）、ASTMD5464-22（TOC在线离线检测）、ASTMD7980-21（颗粒计数检测）、ASTMD6508-20（痕