原创力文档（19）中华人民共和国国家知识产权局
（12）发明专利说明书
中华人民共和国国家知识产权局发明专利说明书申请公布号申请公布日申请号申请日申请人中芯国际集成电路制造上海有限公司地址上海市张江路号发明人黄良志专利代理机构上海思微知识产权代理事务所普通合伙权利要求说明书说明书幅图代理人屈蘅发明名称涂胶显影机（10）申请公布号
CN101894736B
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（12）发明专利说明书
中华人民共和国国家知识产权局发明专利说明书申请公布号申请公布日申请号申请日申请人中芯国际集成电路制造上海有限公司地址上海市张江路号发明人黄良志专利代理机构上海思微知识产权代理事务所普通合伙权利要求说明书说明书幅图代理人屈蘅发明名称涂胶显影机（10）申请公布号
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