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CN120282361A 一种基于反向推理的等离子体阻抗匹配优化方法 （华中科技大学）.pdfVIP

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  • 2026-06-19 发布于重庆
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CN120282361A 一种基于反向推理的等离子体阻抗匹配优化方法 （华中科技大学）.pdf

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN120282361A

    (43)申请公布日2025.07.08

    (21)申请号202510367160.8

    (22)申请日2025.03.26

    (71)申请人华中科技大学

    地址430074湖北省武汉市洪山区珞喻路

    1037号

    (72)发明人姜巍曹得很余世民

    (74)专利代理机构华中科技大学专利中心

    42201

    专利代理师尹丽媛

    (51)Int.Cl.

    H05H1/24(2006.01)

    G06N5/04(2023.01)

    H01J37/32(2006.01)

    权利要求书1页说明书10页

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