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CN119744442A 基板操作系统、方法及设备 （应用材料公司）.docxVIP

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  • 2026-06-22 发布于山西
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CN119744442A 基板操作系统、方法及设备 （应用材料公司）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119744442A

    (43)申请公布日2025.04.01

    (21)申请号202380063419.9

    (22)申请日2023.07.11

    (30)优先权数据

    17/881,4282022.08.04US

    (85)PCT国际申请进入国家阶段日2025.03.03

    (86)PCT国际申请的申请数据

    PCT/US2023/0273702023.07.11

    (87)PCT国际申请的公布数据

    WO2024/030224EN2024.02.08

    (71)申请人应用材料公司

    地址美国加利福尼亚州

    (72)发明人

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