CN119742246A 液处理装置和监视方法 （东京毅力科创株式会社）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119742246A

(43)申请公布日2025.04.01

(21)申请号202411300884.2

(22)申请日2024.09.18

(30)优先权数据

2023-1704152023.09.29JP

(71)申请人东京毅力科创株式会社地址日本

(72)发明人水筱真一印藤俊介桾本裕一朗丰泽聪大石丸大辅松竹勇贵

饭田重幸羽山隆史

(74)专利代理机构北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)11277

专利代理师刘新宇张会华

(51)Int.Cl.

H01L21/67(2006.01)

G03F7/16(2006.01)

权利要求书2页说明书11页附图11页

(54)发明名称

液处理装置和监视方法

(57)摘要

CN119742246A本发明涉及液处理装置和监视方法。根据情况而以适合的方式监视多个喷嘴的状态。液处理装置具备：多个载物台，其分别载置基板；多个喷嘴，其共用于该多个载物台，用于向所述基板供给处理液；照相机，其共用于该多个喷嘴，用于监视该多个喷嘴的状态；以及拍摄条件变更部，其

CN119742246A

CN119742246A权利要求书