CN119744014A 选择性制绒清洗工艺、ibc太阳能电池及其制备方法 （横店集团东磁股份有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119744014A

(43)申请公布日2025.04.01

(21)申请号202311262213.7

(22)申请日2023.09.27

(71)申请人横店集团东磁股份有限公司

地址322118浙江省金华市东阳市横店工

业区

(72)发明人王英杰任勇李增彪张逸凡

(74)专利代理机构杭州华进联浙知识产权代理

有限公司33250

专利代理师鲁宽莹

(51)Int.Cl.

H10F71/00(2025.01)

H10F10/14(2025.01)

H10F77/20(2025.01)

H10F77/70(2025.01)

权利要求书1页说明书8页附图2页

(54)发明名称

选择性制绒清洗工艺、IBC太阳能电池及其

制备方法

(57)摘要

CN119744014A本发明涉及选择性制绒清洗工艺、IBC太阳能电池及其制备方法。所述工艺包括：在硅片相对的第一表面和第二表面均依次制备隧穿氧化层和多晶硅层；对第二表面上的多晶硅层进行扩散；分别采用F1为3000_12000μJ/mm2和F2为500_3000μJ/mm2的激光，对第二表面的不同位置进行烧蚀，对应形成一次烧蚀结构和二次烧蚀结构，且F1F2；烧蚀完成后，去除第一表面上的隧穿氧化层和多