CN119764247A 晶圆夹持装置、搬运装置、加工设备、夹持和释放方法 （华海清科股份有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119764247A

(43)申请公布日2025.04.04

(21)申请号202411879324.7

(22)申请日2024.12.19

(71)申请人华海清科股份有限公司

地址300350天津市津南区咸水沽镇聚兴

道11号

(72)发明人路新春陈铁刘远航王华良

(51)Int.Cl.

H01L21/687(2006.01)

H01L21/68(2006.01)

H01L21/677(2006.01)

权利要求书3页说明书13页附图4页

(54)发明名称

晶圆夹持装置、搬运装置、加工设备、夹持和

释放方法

(57