CN119753828A 金属氧氮化物膜的制造方法 (株式会社半导体能源研究所).docxVIP

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  • 2026-06-23 发布于山西
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CN119753828A 金属氧氮化物膜的制造方法 (株式会社半导体能源研究所).docx

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119753828A

(43)申请公布日2025.04.04

(21)申请号202411921844.X

(22)申请日2019.06.24

(30)优先权数据

2018-1289642018.07.06JP

(62)分案原申请数据

201980039953.X2019.06.24

(71)申请人株式会社半导体能源研究所地址日本

(72)发明人种村和幸三本菅正太奥野直树

(74)专利代理机构中国贸促会专利商标事务所

有限公司11038

专利代理师张智慧

(51)Int.Cl.

C3

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