CN119324173A 一种晶圆uv贴膜机的控制方法及其系统 （深圳市易天自动化设备股份有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119324173A

(43)申请公布日2025.01.17

(21)申请号202411864203.5B65H37/04(2006.01)

(22)申请日2024.12.18

(71)申请人深圳市易天自动化设备股份有限公

司

地址518000广东省深圳市宝安区沙井街

道沙头社区沙井南环路446号星展广

场1栋A座401

(72)发明人高军鹏陈辉黄瑞瑶

(74)专利代理机构深圳市中云创知识产权代理

事务所(普通合伙)441088

专利代理师魏秀云

(51)Int.Cl.

H01L21/67(2006.01)