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数字集成电路与系统设计-李广军-第二章 制造工艺 .pptx

数字集成电路与系统设计-李广军-第二章 制造工艺 .pptx

    数字集成电路与系统设计

    制造工艺;

    数字集成电路制造;

    gate-oxide

    TiSi2

    Tungsten;

    M2

    Vout

    M1;

    版图

    ;

    数字集成电路;

    数字集成电路制造;

    数字集成电路制造;

    (a)Basematerial:p+substrate

    (b)A

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