CN119765005A 形成垂直腔面发射激光器元件的湿氧孔径形状的方法 （台亚半导体股份有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119765005A

(43)申请公布日2025.04.04

(21)申请号202311475820.1

(22)申请日2023.11.07

(30)优先权数据

1121376892023.10.02TW

(71)申请人台亚半导体股份有限公司

地址中国台湾新竹科学园区新竹市力行五路1号

(72)发明人李尚泽

(74)专利代理机构北京戈程知识产权代理有限

公司11314

专利代理师程伟

(51)Int.Cl.

H01S5/02(2006.01)

C30B33/00(2006.01)

H01S5/183(2006.01)

权利要求书1页说明书4页附图2页

(54)发明名称

形成垂直腔面发射激光器元件的湿氧孔径

形状的方法

(57)摘要

CN119765005A一种形成垂直腔面发射激光器元件的湿氧孔径形状的方法，其包含：将具有直径为25um~30um的圆形垂直腔面发射激光器台面的垂直腔面发射激光器晶圆放入至湿氧炉中；将湿氧炉抽真空；将湿氧炉升温至250～350℃并维持第一时间区段，且于第一时间区段通入N2气体及H2O气体至湿氧炉中；持续通入N2气体及H2O气体至湿氧炉中，同时将湿氧炉升温至350～450℃并维持第二时间区段；持续通入N2气体及H2O气体至湿氧炉中，