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CN119766988A 晶圆检测对焦方法、装置、电子设备及计算机存储介质 （武汉精测电子集团股份有限公司）.docxVIP

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  • 2026-06-22 发布于山西
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CN119766988A 晶圆检测对焦方法、装置、电子设备及计算机存储介质 （武汉精测电子集团股份有限公司）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119766988A

    (43)申请公布日2025.04.04

    (21)申请号202411763730.7

    (22)申请日2024.12.03

    (71)申请人武汉精测电子集团股份有限公司

    地址430074湖北省武汉市东湖新技术开

    发区流芳园南路22号

    申请人武汉精立电子技术有限公司

    (72)发明人谭盼欧昌东王进文邓俊涛

    (74)专利代理机构北京恒博知识产权代理有限

    公司11528

    专利代理师韩菲

    (51)Int.Cl.

    H04N17/00(2006.01)

    H04N23/6

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