CN119334821A 一种石英晶体微天平湿度传感器及其制备方法和监测系统 （湖北工业大学）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119334821A

(43)申请公布日2025.01.21

(21)申请号202411861902.4

(22)申请日2024.12.17

(71)申请人湖北工业大学

地址430068湖北省武汉市洪山区南李路

28号

(72)发明人廖睿洁刘梦然赵旭辉聂磊

(74)专利代理机构武汉科皓知识产权代理事务

所(特殊普通合伙)42222

专利代理师张火春

(51)Int.Cl.

G01N5/02(2006.01)

C23C14/18(2006.01)

C23C14/58(2006.01)

C23C14/30(2006.01)

C23C