CN119765015A 小发散角的vcsel激光器、制备方法及电子设备 （浙江睿熙科技有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119765015A

(43)申请公布日2025.04.04

(21)申请号202410557273.X

(22)申请日2024.05.07

(66)本国优先权数据

202311838542.12023.12.28CN

(71)申请人浙江睿熙科技有限公司

地址310000浙江省杭州市余杭区良渚街

道通运街358号2幢101室

(72)发明人杨国庆赖威廷郭铭浩李念宜

(74)专利代理机构杭州育英智慧专利商标代理事务所(普通合伙)33502

专利代理师张叔泰

(51)Int.Cl.

H01S5/183(2006.01)

权利要求书2页说明书9页附图9页

(54)发明名称

小发散角的VCSEL激光器、制备方法及电子

设备

(57)摘要

CN119765015A本申请属于半导体技术领域，具体为一一种小发散角的VCSEL激光器，其中，包括衬底层、设于所述衬底层上的第一布拉格反射镜、设于所述第一布拉格反射镜上的有源区、设于所述有源区上方的第二布拉格反射镜；其中，所述有源区上方设有阻挡电流以使电流集中进入至有源区内的电流限制层，所述电流限制层上具有供电流以及激光通过的限制孔，所述限制孔定义出发光区，所述限制孔上具有至少一个尖角。等效限制孔相同的前提下，透过mas