薄膜的形成与生长.pptxVIP

薄膜的形成与生长

1凝结过程2晶核形成与生长过程3薄膜的形成与生长过程4溅射薄膜的生长特性目录|CONTENT

薄膜的形成过程一般分为：凝结过程、晶核形成与生长过程、薄膜的形成与生长过程。

一、凝结过程（一）吸附过程：原子或分子间结合的化学键在固体的表面中断，形成的中断键称为不饱和键或悬挂键。这种键具有吸引外来原子或分子的能力。入射到基体表面的气相原子被这种悬挂键吸引住的现象称为吸附。

一、凝结过程（一）吸附过程：固体表面上的原子或分子受到的力是不平衡的，这使得固体表面具有表面自由能。吸附现象会使表面自由能减小。伴随吸附现象的发生而释放的一定的能量称为吸附能。将吸附在固体表面上的气相原子除掉称为解吸，除掉被吸附气相原子的能量称为解吸能。从蒸发源入射到基体表面的气相原子到达基片表面之后可能发生如下三种现象：（1）与基体表面原子进行能量交换被吸附（2）吸附后气相原子仍有较大的解吸能，在基体表面作短暂停留后再解吸蒸发(再蒸发或二次蒸发)（3）与基体表面不进行能量交换，入射到基体表面上立即反射回去。

一、凝结过程（一）吸附过程：若吸附仅仅是由原子电偶极矩之间的范德华力起作用称为物理吸附；若吸附是由化学键结合力起作用则称为化学吸附。吸附过程的能量曲线如图所示。?

一、凝结过程

一、凝结过程?脱附能Ed与平均停留时间τa的关系Ed