CN119764225A 晶圆盒调度方法、晶圆盒调度装置和电子设备 （合肥晶合集成电路股份有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119764225A

(43)申请公布日2025.04.04

(21)申请号202510260904.6

(22)申请日2025.03.06

(71)申请人合肥晶合集成电路股份有限公司

地址230012安徽省合肥市新站区合肥综

合保税区内西淝河路88号

(72)发明人李玉磊王思民卫春生李翔曹齐清蔡栋煌刘艳丽凌军

(74)专利代理机构华进联合专利商标代理有限

公司44224

专利代理师杨明莉

(51)Int.Cl.

H01L21/67(2006.01)

权利要求书2页说明书12页附图4页

(54)发明名称

晶圆盒调度方法、晶圆盒调度装置和电子设

备

(57)摘要

CN119764225A本申请涉及一种晶圆盒调度方法、晶圆盒调度装置和电子设备，在对晶圆盒进行调度时，先在当前站点确定需要调度的目标调度机台，并确定该目标调度机台的目标晶圆盒待调度站点的站点类型。再在与站点类型相同的候选站点中确定目标晶圆盒待调度的目标运送机台，并确定与目标运送机台对应的目标运送仓。接着，直接将目标晶圆盒从目标调度机台运送到目标运送仓，以使目标晶圆盒可以从目标运送仓直接运送到目标运送机台进行操作。本实施例可以提高对晶圆盒的运输效率，还降低了晶圆盒清洗流程中的

CN