CN119640393A 一种碳化硅晶体的生长工艺及应用 （江苏天科合达半导体有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119640393A

(43)申请公布日2025.03.18

(21)申请号202411868196.6

(22)申请日2024.12.18

(71)申请人江苏天科合达半导体有限公司

地址221000江苏省徐州市经济技术开发

区创业路26号

申请人北京天科合达半导体股份有限公司

(72)发明人周兴孙珮然于华宽邹宇

张平娄艳芳王波彭同华

杨建

(74)专利代理机构北京集佳知识产权代理有限

公司11227

专利代理师张丽娜

(51)Int.Cl.

C30B23/00(2006.01)

C30B29/36(2