GBT 47089-2026 蓝宝石图形化衬底表面图形几何参数的测定方法标准立项发展报告.docxVIP

蓝宝石图形化衬底表面图形几何参数的测定方法标准立项发展报告

EnglishTitle

StandardizationDevelopmentReport:TestMethodforDeterminingGeometricalParametersofPatternsonPatternedSapphireSubstrate

摘要

本报告旨在对国家标准GB/T47089-2026《蓝宝石图形化衬底表面图形几何参数的测定方法》的立项与发展进行全面、系统的阐述。蓝宝石图形化衬底（PSS）作为氮化镓（GaN）基光电器件，尤其是发光二极管（LED）的核心材料，其表面图形几何参数的精确测定对器件性能的提升及产业良率的控制具有决定性作用。然而，长期以来行业内缺乏统一的、高精度的测量与评价标准，导致不同厂商之间的产品参数可比性差，制约了产业链的协同发展。本标准正是在此背景下立项研制。报告深入分析了该标准的研制背景、技术路线、核心内容及其对产业发展的重大意义。标准详述了利用白光干涉、激光共聚焦扫描显微镜或原子力显微镜等精密测量设备，对PSS表面图形的关键参数，如图形高度、图形直径、间距、底部形状、侧壁角度及表面粗糙度等进行测定与计算的方法。本标准的发布与实施，将有效解决行业测量方法不统一、数据可比性差的痛点问题，为光电子产业的材料评价、质量控制和国际贸易提供坚实的技术依据