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- 2026-06-24 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN119689792A
(43)申请公布日2025.03.25
(21)申请号202411857948.9
(22)申请日2024.12.16
(71)申请人芯恩（青岛）集成电路有限公司
地址266000山东省青岛市黄岛区太白山
路19号德国企业南区401
(72)发明人田亚冬
(74)专利代理机构上海思捷知识产权代理有限
公司31295
专利代理师侯素芹
(51)Int.Cl.
G03F7/20(2006.01)
H01L21/66(2006.01)
G01N21/88(2006.01)
权利要求
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