1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内外标准规范

T_CPSS 1018-2025 半导体制造用等离子体工艺射频电源动态阻抗测试方法.docxVIP

  • 2
  • 0
  • 约1.22万字
  • 约 35页
  • 2026-06-24 发布于河北
  • 举报

T_CPSS 1018-2025 半导体制造用等离子体工艺射频电源动态阻抗测试方法.docx

    中国电源学会发布

    ICS19.08CCSK80

    团体标准

    T/CPSS10182025

    半导体制造用等离子体工艺射频电源Testmethods

    半导体制造用等离子体工艺射频电源

    TestmethodsfordynamicimpedanceofRFgeneratorappliedimdctaugpaprocess

    体制造用等离子体工艺射频I动态阻抗测试方法

    thodsfordynamicimpedanceofRFgensemiconductormanufacturingplasm:

    2025-08-22发布2025-08-23实施

    T/CPSS10182025

    目次

    前言 II

    1范围 1

    3术语和定义 ——1

    4测试环境条件 ——1

    5测试方法 ——2

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >